Peralatan Metalizing Vakum

Apakah Pelapis PVD Aman?

Proses Deposisi Uap Fisik adalah teknik ramah lingkungan atau "pelapisan" yang sangat mengurangi jumlah zat beracun yang harus digunakan, dikelola, dan dibuang dibandingkan dengan proses "basah" lainnya yang melibatkan prekursor cairan dan reaksi kimia yang digunakan untuk mencapai hasil yang sama . Karena mampu menghasilkan lapisan yang sangat murni, bersih, dan tahan lama, Deposisi Uap Fisik adalah teknologi pilihan untuk industri implan bedah dan medis.

Tahukah Anda apa itu mesin pelapis? Ini terutama mengacu pada jenis pelapisan yang perlu dilakukan di bawah vakum tingkat tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penguapan ion vakum, sputtering magnetron, epitaksi berkas molekul MBE, deposisi sputtering laser PLD dan banyak lainnya.

Sistem vakum mencakup pompa mekanis, pompa kriogenik, katup roughing, katup garis depan, katup gerbang, dan pengukur vakum untuk deteksi vakum. Selama magnetron sputtering, pengaruh nitrogen, oksigen, dan uap air pada proses harus diminimalkan, sehingga tingkat vakum harus di bawah 0.13 mPa ~ 4 Pa. Pompa Nowdry dan pompa kriogenik umumnya digunakan. Pompa kering digunakan untuk memompa vakum rendah. Dibandingkan dengan pompa oli mekanis asli, itu dapat mencegah oli dan gas di pompa oli memasuki ruang vakum, mencemari substrat, dan mengurangi adhesi antara film dan substrat. Biasanya, setelah pompa kering dipompa di bawah 6,5 Pa, katup gerbang dibuka, dan pompa kriogenik digunakan untuk memompa vakum tinggi. Pompa kriogenik dicirikan oleh kecepatan pemompaan yang tinggi, terutama kemampuan mengeluarkan uap air yang sangat kuat.

Sistem pelapisan sputtering terdiri dari catu daya DC, bahan target, air pendingin, magnet permanen, perangkat pemanas substrat, baffle, lapisan pelindung, dll. Ini adalah bagian inti dari stasiun sputtering magnetron. Catu daya DC memberikan tegangan tinggi negatif 300-1 000 V dan menerapkannya ke target, sehingga target berada di katoda dan substrat berada di anoda. Air pendingin digunakan untuk mendinginkan bahan target untuk mencegah suhu target naik terlalu cepat karena sputtering. Pipa air pendingin harus terbuat dari bahan isolasi seperti pipa plastik, bukan pipa logam. Perangkat pemanas substrat dapat menghilangkan kotoran seperti uap air pada substrat, yang dapat meningkatkan daya rekat antara film dan substrat. Selain itu, untuk beberapa logam, suhu yang sesuai dapat meningkatkan kualitas film.

Aplikasi

Parameter

Perusahaan kita

Tag populer: peralatan metalizing vakum, Cina, pemasok, produsen, pabrik, disesuaikan, beli, harga, kutipan