Mesin Pelapis Putar

Sputtering frekuensi menengah juga merupakan jenis sputtering magnetron.

Ada banyak jenis sputtering magnetron, yang dapat dibagi menjadi sputtering magnetron DC, sputtering magnetron frekuensi radio, dan sputtering magnetron frekuensi menengah sesuai dengan sumber daya yang digunakan. Catu daya yang digunakan dalam DC magnetron sputtering adalah catu daya DC tegangan tinggi, biasanya 300-1000 V, yang ditandai dengan laju sputtering yang cepat, biaya rendah, dan perawatan yang murah di kemudian hari. Namun, hanya target logam yang bisa tergagap. Jika targetnya adalah isolator, saat sputtering berlangsung, target akan mengumpulkan sejumlah besar muatan, yang mengakibatkan sputtering tidak dapat melanjutkan. Oleh karena itu, sputtering magnetron DC biasanya digunakan untuk target logam. Karena biaya rendah dan struktur sederhana, ini banyak digunakan dalam industri. Frekuensi catu daya RF yang digunakan dalam sputtering magnetron RF biasanya 13,56 MHz, yang dapat memecahkan masalah bahwa sputtering magnetron DC tidak dapat menyemburkan target isolasi. Karakteristik sputtering magnetron RF adalah: target insulasi dan target logam dapat tergagap, dan daya rekat antara film dan substrat kuat. Namun, karena struktur dan perangkat yang kompleks, harga catu daya RF yang tinggi, biaya perawatan yang tinggi, radiasi ke tubuh manusia, dan kebutuhan akan jaringan pencocokan eksternal, tidak cocok untuk produksi industri. Sputtering magnetron frekuensi menengah sering digunakan untuk sputtering reaktif untuk menyiapkan film senyawa logam. Selain argon, sejumlah kecil gas reaktif seperti nitrogen, oksigen, dll. ditambahkan ke rongga untuk menyimpan molekul gas reaktif ini dengan atom bahan target. ke substrat untuk membentuk film senyawa logam. Karena sputtering magnetron DC banyak digunakan dalam industri, meja sputtering magnetron mencakup sistem vakum, sistem pelapisan sputtering, gas, dan sistem kontrol.

Aplikasi

Parameter

Perusahaan kita

Tag populer: mesin pelapis spin, Cina, pemasok, produsen, pabrik, disesuaikan, beli, harga, kutipan